特許

J-GLOBAL ID：200903002551595305

アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 弓場 智之 ,  吉村 利夫 ,  富川 真佐夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-004307
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194783
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像液によって良好なパターンが得られるネガ型感光性ポリイミド前駆体組成物を得ることができる。【解決手段】2種類の有機基-COOH、-COOR1を含み、かつ、厚さ10μmのプリベーク膜中の-COOHのモル分率-COOH/{(-COOH)+(-COOR1)}の値が0.10〜0.75であるポリマーを主成分とすることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物である。(R1は炭素数1〜30の有機基を表し、うち50〜100モル%は光感応性基を含んだ有機基を表す。)

請求項（抜粋）：

2種類の有機基-COOH、-COOR1を含み、かつ、厚さ10μmのプリベーク膜中の-COOHのモル分率-COOH/{(-COOH)+(-COOR1)}の値が0.1〜0.75であるポリマーを主成分とすることを特徴とするアルカリ現像用感光性ポリイミド前駆体組成物。(R1は炭素数1〜30の有機基を表し、うち50〜100モル%は光感応性基を含んだ有機基を表す。)

IPC (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特開平3-004226
  
• 化学線感応性重合体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-133393   出願人：東レ株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-003445   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-170485   出願人：東レ株式会社
• 高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-123892   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-116557
  
• アルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-280426   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
• 感光性ポリイミド前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-129575   出願人：東レ株式会社