静電吸着装置、基板搬送装置及び真空処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180360
公開番号（公開出願番号）：特開2001-353682
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【課題】静電吸着装置に関し、特に、基板に反りが生じてしまった場合に、確実にその基板を静電吸着することができる技術を提供する。【解決手段】本発明の静電吸着装置33は、矩形の支持体40と、その四隅に配置された駆動軸211〜214と、その先端に取り付けられ、揺動可能な板状の静電吸着部231〜234とを有している。各静電吸着部231〜234は、その表面があらゆる方向に傾くことができるので、基板11が反り、平坦でなくなった場合であっても、反った基板11の表面に沿って各静電吸着部231〜234の表面が傾き、基板11の表面と各静電吸着部231〜234の表面とが平行になるので、各静電吸着部231〜234の全表面が基板11の表面に接触する。従って、基板11表面との接触面積が大きくなって、静電吸着力が大きくなることにより、反りが生じた基板を、確実に静電吸着して保持することができる。

請求項（抜粋）：

複数の取付部材と、前記取付部材にそれぞれ設けられ、該取付部材に対して自由に傾くことができるように構成された静電吸着部とを有し、前記静電吸着部は、担体と、該担体に設けられた第1、第2の電極とを有することを特徴とする静電吸着装置。

IPC (2件)：

B25J 15/06 , H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 Z , B25J 15/06 S , H01L 21/68 A , H01L 21/68 R

Fターム (19件)：

3F061AA01 , 3F061CA00 , 3F061CB05 , 3F061CB14 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA30 , 5F031GA32 , 5F031GA33 , 5F031GA49 , 5F031HA05 , 5F031HA18 , 5F031HA33 , 5F031MA29 , 5F031NA05 , 5F031PA13

引用特許：

審査官引用 (5件)

ワーク支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-054867 出願人：株式会社日平トヤマ
特開平3-012948
ロボットハンド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-319235 出願人：日本電気株式会社

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