吸着体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-168506
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347689
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】軽量で、強度が大きく、破損や発塵が少なく、且つ電導性を有する吸引体を提供する。【解決手段】吸着パッドXはポーラスカーボン板1を主体に構成され、ポーラスカーボン板1は基台7上に装着されている。ポーラスカーボン板1の表面は対象物を吸着する吸着面2になっており、裏面は吸引面3になっている。空隙5に連通して、吸引口6が形成され、この吸引口6にポンプを接続して、吸引を行う。ポーラスカーボン板1の側端面20と表面及び裏面の縁部には封孔処理部4が形成され、不通気になっている。封孔処理部4は、熱硬化性樹脂をハケ等で塗布、または布等に染み込ませて塗布し、硬化処理をさせ、コーティングすることにより形成する。また、硬化処理後、700°C以上で炭化処理を行っても良い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸引手段に接続され、対象物を吸引保持するための吸着体であって、対象物を吸引保持する吸着面と、前記吸引手段により吸引される吸引面とを有する板状の通気性を有するポーラスカーボンと、該ポーラスカーボンの前記吸着面と吸引面以外の部分を塞いで当該部分を不通気とする不通気体と、前記吸引面に連通し、吸引手段に接続される吸引口と、を備えたことを特徴とする吸着体。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 P

Fターム (7件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA13 , 5F031MA34 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315078 出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ

審査官引用 (5件)

吸着冶具
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-111053 出願人：株式会社妙徳
吸着パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-347601 出願人：株式会社ディスコ
真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315078 出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ

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