特許

J-GLOBAL ID：200903015188005333

サーマルプリントヘッド、およびその製造方法

発明者： 山出 琢巳 ,  横山 栄二 ,  林 浩昭
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329012
公開番号（公開出願番号）：特開2000-153630
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 保護層における最外層(耐摩耗層)の耐久性を向上させるとともに、最外層の密着性および発熱抵抗体の静電破壊の問題を回避する。【解決手段】 共通電極30および個別電極31を含む導電部3と、これらの電極30,31の間をつなぐ抵抗部5と、導電部3および抵抗部5を覆う保護層8と、が基板2上に形成されたサーマルプリントヘッド1において、保護層8を、3以上の層80〜83から構成し、最外層83をダイヤモンドライクカーボン膜とした。好ましくは、保護層8は、下地層81と、この下地層81とダイヤモンドライクカーボン膜83との間に介在する接着層82と、を有するものとし、接着層82を、チタン、タングステン、または炭化ケイ素によって形成した。また、保護層8を、最内層80の硬度が最も低く、外側の層ほど硬度が高くなるようにする。

請求項（抜粋）：

共通電極および個別電極を含む導電部と、これらの電極の間をつなぐ抵抗部と、上記導電部および抵抗部を覆う保護層と、が基板上に形成されたサーマルプリントヘッドであって、上記保護層は、3以上の層からなるとともに最外層がダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする、サーマルプリントヘッド。

FI (2件)：

B41J 3/20 111 F ,  B41J 3/20 111 H

Fターム (10件)：

2C065GB02 ,  2C065JF01 ,  2C065JF05 ,  2C065JF14 ,  2C065JF15 ,  2C065JF16 ,  2C065JF17 ,  2C065JF19 ,  2C065JH08 ,  2C065JH11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• サーマルヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-195055   出願人：ローム株式会社
• 珪素を含む炭素被膜およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093787   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• サーマルヘッドおよびサーマルヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-025278   出願人：富士写真フイルム株式会社