プロセス制御方法及びそれを用いる電子デバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305805
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】制御対象から出力される制御量を迅速、且つ正確に目標値へ追従させることができ、プロセスのスループットを向上させることができるプロセス制御方法並びに電子デバイス製造方法を得る。【解決手段】電子デバイス製造方法において、ボート投入等の所定の外乱、又は炉内温度の上昇等の所定の目標値の変動に対して、予め所定の制御パターンを定めておき、所定の外乱発生時、又は所定の目標値の変動時にフィードバック制御から所定の制御パターンによるオープンループ制御に切替え、所定の外乱、又は所定の目標値の変動が収まったときに、フィードバック制御に復帰するようにした。

請求項（抜粋）：

プロセス装置における制御対象へ入力される操作量を変化させることにより、前記制御対象による制御量を変化させ、変化した制御量に基づいた演算を行って操作量を制御し、前記制御量を目標値へ維持もしくは追従させるプロセス制御方法において、所定の出力パターンに基づく操作量を出力する手段と、前記演算に従った操作量と前記所定の出力パターンに基づく操作量とを選択切替する選択切替手段とを備え、前記演算に従った操作量と前記所定の出力パターンに基づく操作量とを、適宜選択切替して前記制御対象に入力するようにしたことを特徴とするプロセス制御方法。

IPC (2件)：

G05B 15/02 , H01L 21/20

FI (2件)：

G05B 15/02 Z , H01L 21/20

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開昭63-140301
特開昭61-243505
エンジンの制御方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-053816 出願人：株式会社明電舎

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