特許
J-GLOBAL ID：200903015442371086

静電容量型圧力センサ

発明者：
北村 恭志

北村 恭志 について


出願人/特許権者：
キヤノンアネルバテクニクス株式会社

キヤノンアネルバテクニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 中西 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-256151
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071501
出願日： 2004年09月02日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 本発明は、より高精度の温度補償が可能で、取り付け後の較正が容易な静電型圧力センサを提供することを目的とする。【解決手段】 所定圧力に設定された圧力基準室と圧力測定室とを隔てる第1のダイヤフラムに対向して測定電極が設けられ、第1のダイヤフラム及び測定電極間の第1の静電容量から圧力測定室の圧力を求める静電容量型圧力センサにおいて、環境温度変化に対する温度補償を行うための参照電極及びこれに対向する第2のダイヤフラムを設け、該第2のダイヤフラムを挟む参照電極側の第1の空間及び反対側の第2の空間の圧力を実質的に同一とし、前記第1の静電容量を前記参照電極と前記第2のダイヤフラム間の第2の静電容量により補正して前記圧力測定室の圧力を求める構成としたことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定圧力に設定された圧力基準室と圧力測定室とを隔てる第1のダイヤフラムに対向して測定電極が設けられ、第1のダイヤフラムと測定電極間の第1の静電容量から圧力測定室の圧力を求める静電容量型圧力センサにおいて、環境温度変化に対する温度補償を行うための参照電極及びこれに対向する第2のダイヤフラムを設け、該第2のダイヤフラムを挟む参照電極側の第1の空間及び反対側の第2の空間の圧力を実質的に同一とし、前記第1の静電容量を前記参照電極と前記第2のダイヤフラム間の第2の静電容量により補正して前記圧力測定室の圧力を求める構成としたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/00 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01L9/00 305A ,  G01L9/00 305T ,  H01L29/84 Z
Fターム (29件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF02 ,  2F055GG11 ,  2F055GG32 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA06 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112CA15 ,  4M112DA04 ,  4M112DA11 ,  4M112DA12 ,  4M112DA15 ,  4M112DA17 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA10 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA05 ,  4M112FA11 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM