特許
J-GLOBAL ID：200903081753804620

静電容量型圧力センサ

発明者：
宮下 治三

宮下 治三 について


出願人/特許権者：
アネルバ株式会社

アネルバ株式会社 について


代理人 (1件)： 中西 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-415840
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212388
出願日： 2003年12月15日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】 本発明は、素子の脱着可能な静電容量型圧力センサであって、その取り付け方による静電容量の変動やバラツキを抑えた圧力センサを提供し、さらには環境温度が変化する系であっても、温度変化に伴う出力の変動を抑え信頼性のある圧力測定が可能な圧力センサを提供することを目的とする。【解決手段】 固定電極が形成された基板と圧力導入孔が形成された基板との間にダイヤフラム電極が形成された基板を介在させ、電極が空間を介して重なり合うように接合された静電容量型圧力センサ素子をシール部材を介して着脱可能に保持部材に固定した圧力センサであって、圧力導入口が形成された基板に、他の基板よりも外方に延在する領域を設け、押さえ板により該領域を前記シール部材を介して前記保持部材に押接する構成としたことを特徴とする。さらに、押さえ板と基板との間に緩衝体を配置したことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定電極が形成された基板と圧力導入孔が形成された基板との間にダイヤフラム電極が形成された基板を介在させ、前記固定電極、前記ダイヤフラム電極及び前記圧力導入孔が、空間を介して重なり合うように接合された静電容量型圧力センサ素子をシール部材を介して着脱可能に保持部材に固定した圧力センサであって、前記圧力導入口が形成された基板に、前記ダイヤフラム電極が形成された基板よりも外方に延在する領域を設け、該領域に前記シール部材と当接するシール面を設け、該シール面が前記シール部材を介して前記保持部材に押接される構成としたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L9/00 ,  H01L29/84
FI (2件)：
G01L9/00 305H ,  H01L29/84 Z
Fターム (20件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF01 ,  2F055FF11 ,  2F055GG25 ,  2F055HH03 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112CA15 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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