薄膜発熱体及びその製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人みのり特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-079725
公開番号（公開出願番号）：特開2008-243460
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】耐酸化性が強く、大気中において長時間連続して高温で発熱させても性能が低下しない薄膜発熱体を提供する。【解決手段】金属ケイ化物-ケイ素複合体の薄膜を基体上に積層したものからなる。金属ケイ化物-ケイ素複合体の薄膜は、金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された内部構造を有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

金属ケイ化物-ケイ素複合体の薄膜を基体上に積層したものからなり、前記金属ケイ化物-ケイ素複合体の薄膜は、金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された内部構造を有していることを特徴とする薄膜発熱体。

IPC (4件)：

H05B 3/14 , H05B 3/74 , H05B 3/20 , H05B 3/12

FI (4件)：

H05B3/14 D , H05B3/74 , H05B3/20 328 , H05B3/12 B

Fターム (19件)：

3K034AA02 , 3K034AA04 , 3K034AA16 , 3K034AA35 , 3K034BA02 , 3K034BB06 , 3K034BB14 , 3K034BC12 , 3K034JA01 , 3K092PP20 , 3K092QB02 , 3K092QB10 , 3K092QB32 , 3K092QB78 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF17 , 3K092RF22 , 3K092VV09

引用特許：

出願人引用 (2件)

薄膜発熱体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-027523 出願人：学校法人同志社, 成尾昇
薄膜発熱体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-350887 出願人：学校法人同志社

審査官引用 (3件)

通電発熱体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-148390 出願人：宮田征一郎
特開昭52-051599
特開昭59-009887

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