特許
J-GLOBAL ID：200903015557762186

位置検出方法及びそれを用いた位置検出装置

発明者：
三島 和彦

三島 和彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207856
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167738
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 工程間オフセットの少ない、位置検出精度の高い位置検出装置を実現すること。【解決手段】 半導体投影露光装置のような位置検出装置における位置検出光学系の照明系を光学重心が調整可能な構成とし、ある特定のマークの画像信号を観察することにより前記照明系の光学重心を調整し、前記位置検出光学系の状態を最適化することを特長とする位置検出装置。
請求項（抜粋）：
被検物体の位置を位置検出光学系を介して検出する位置検出装置において、前記位置検出光学系により基準マ-クを観察して前記位置検出光学系の調整状態を検定することを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00
FI (6件)：
H01L 21/30 525 B ,  G01B 11/00 C ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 K ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 525 T
引用特許：
審査官引用 (4件)
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