特許
J-GLOBAL ID：200903015571976261
金属表面の検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068467
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266686
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 反射光量の大きなキズ欠陥とそれが小さいシミ欠陥とを明確に区別して検査できるようにする。【解決手段】 金属製品Wの表面を斜光照明する照明装置12と、斜光照明下にある金属Wの表面を撮像するCCDカメラ10と、該表面を撮像して得られる画像に基づいて金属の表面状態を検査する画像処理装置16とを備えた検査装置において、画像上でキズ欠陥のみが識別できる第1照明光量と、キズ欠陥とシミ欠陥とが識別できる第2照明光量とに、それぞれ前記照明装置12からの光量を調整する手段を備えていると共に、前記画像処理装置16が、撮像された第1画像と第2画像の同一箇所の輝度を比較することでそれぞれ画像処理を行って金属の表面状態を検査する。
請求項（抜粋）：
斜光照明下にある金属の表面を撮像して得られる画像に基づいて金属の表面状態を検査する金属表面の検査方法において、画像上でキズ欠陥のみが識別できる第1照明条件に調整して第1画像を撮像し、画像上でキズ欠陥とシミ欠陥とが識別できる第2照明条件に調整して第2画像を撮像し、撮像された第1画像と第2画像とに基づいて金属の表面状態を検査することを特徴とする金属表面の検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/00
, G01B 11/30
G01N 21/88 Z
, G01B 11/00 H
, G01B 11/30 A
2F065AA49
, 2F065BB00
, 2F065BB25
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065GG00
, 2F065GG02
, 2F065GG07
, 2F065GG24
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL03
, 2F065LL30
, 2F065NN01
, 2F065PP15
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065UU01
, 2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BB07
, 2G051BC03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA11
, 2G051EA16
, 2G051ED05
