特許
J-GLOBAL ID：200903015581138337

固体表面を液状配合物で被覆する方法

発明者：
ジョン イー.ピリオン

ジョン イー.ピリオン について

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マイケル イー.クラーク

マイケル イー.クラーク について

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ジル ボスキ

ジル ボスキ について


出願人/特許権者：
ミリポア・コーポレイション

ミリポア・コーポレイション について


代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-557927
公開番号（公開出願番号）：特表2002-519195
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：
【要約】可動の可調整セル組立体50がハウジング44内で移動できるよう、これらを連結する3個の回転可能なボールねじロッド66を含む支持手段により支持されたクロマトグラフカラム40である。各ロッド66は回転自在であるが長手方向には移動しないように基板64に取り付けられ、ボールねじナット78が各ロッド66に固定され、またハウジング44に固定されたフランジ60に固定されている。各ロッドには平歯車70が固定され、全ての平歯車70はリング歯車80により連動する。手動輪がロッド66に固定されて、全てのロッドを同時に同じ量だけ回転できるようになっている。
請求項（抜粋）：
a)液状配合物を脱気し;b)脱気の間に、液状配合物の粘度を実質的に保持し;c)約350〜760トルの実質的に一定の圧力雰囲気にある基板上に、工程b)の液状配合物を所与の量を供給し;そしてd)該基板を回転して脱気液状配合物を基板上に均一に分配することを包含する、溶媒を含む液状配合物を基板上に均一に分配する方法。
IPC (7件)：
B05C 11/08 ,  B05C 11/00 ,  B05D 1/40 ,  B05D 3/02 ,  B05D 3/04 ,  B05D 3/12 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
B05C 11/08 ,  B05C 11/00 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 3/02 ,  B05D 3/04 ,  B05D 3/12 ,  H01L 21/30 564 C
Fターム (31件)：
4D075AC79 ,  4D075AC95 ,  4D075AC96 ,  4D075BB14Z ,  4D075BB56Y ,  4D075BB57Y ,  4D075BB69Y ,  4D075BB93Y ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4D075EA12 ,  4D075EA45 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042BA04 ,  4F042BA06 ,  4F042BA15 ,  4F042BA25 ,  4F042DF09 ,  4F042DF32 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB17 ,  4F042EB24 ,  4F042EB29 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046JA04
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)

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