特許

J-GLOBAL ID：200903015583267436

磁気検出センサ

発明者： 久須美 雅昭 ,  大野 満 ,  岡野 道男 ,  中森 秀樹 ,  角谷 透 ,  角替 章隆 ,  中田 智之 ,  三浦 輝之 ,  大川原 好彦
出願人/特許権者： ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 ,  ナノテック株式会社 ,  浜松光電株式会社
代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-033890
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247408
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】感磁素子(例えば、MRセンサ)を外的衝撃から保護する。【解決手段】基板10上に感磁素子11が形成されてなる磁気検出センサ1において、最外表面に硬質皮膜14が形成され、硬質皮膜14の下部に、硬質皮膜14による応力を緩和する有機膜13が形成され、有機膜13と感磁素子11の間に、有機膜13による応力を緩和する無機膜12が形成されてなる。また、有機膜13と硬質皮膜14との間に、炭素と結合力の強い元素からなる中間膜が形成されていても良い。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に感磁素子が形成されてなる磁気検出センサにおいて、 最外表面に硬質皮膜が形成され、 上記硬質皮膜の下部に、有機膜が形成され、 上記有機膜と上記感磁素子の間に、無機膜が形成されてなることを特徴とする磁気検出センサ。

IPC (6件)：

H01L43/08 ,  G01D5/245 ,  G01R33/09 ,  G11B5/39 ,  H01L43/02 ,  H01L43/10

FI (6件)：

H01L43/08 H ,  G01D5/245 R ,  G11B5/39 ,  H01L43/02 Z ,  H01L43/10 ,  G01R33/06 R

Fターム (11件)：

2F077AA42 ,  2F077CC02 ,  2F077NN24 ,  2F077PP14 ,  2F077VV09 ,  2F077VV11 ,  2F077VV33 ,  2G017AD55 ,  2G017AD56 ,  2G017AD65 ,  5D034BA17

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平2-108987
  
• 変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-285247   出願人：株式会社ミツトヨ
• 記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-168515   出願人：キヤノン電子株式会社
• 磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-104512   出願人：日立金属株式会社
• 樹脂材表面上の多層膜およびその成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248440   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 特開平2-108987