厚さ測定装置及び測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059587
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257502
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】試料の厚さを、高精度に測定する。【解決手段】測長器8を含む測定系を除振台7上にのせ、これら全体を温度制御可能な恒温チャンバー5内に設置する。また、測長器8の測定器定盤2の上に測定試料の直径より十分小さい径の中央凸部を有する試料測定台16を設け、測長器8の測長子1を試料測定台の中央凸部16Cに接触させたときの測長子の位置と、測定試料を上記中央凸部に載せ、測長子を測定試料に接触させたときの測長子の位置を測定し、それらの値から測定試料の厚さを計算する。

請求項（抜粋）：

恒温チャンバと、上記恒温チャンバ内に設置された除振台と、上記除振台上に設置された測定器定盤と、上記測定器定盤上に設けられた対象物に上から接触する測長子とを有し、上記測長子の位置情報を出力するリニアゲージと、上記測定器定盤上に設置され、中央に測定試料を載せるための、上記測定試料より十分小さい径の平面を有する中央凸部が形成された試料測定台と、を含むことを特徴とする厚さ測定装置。

IPC (3件)：

G01B 5/06 , G01B 21/08 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 5/06 , G01B 21/08 , H01L 21/66 P

Fターム (20件)：

2F062AA27 , 2F062BB09 , 2F062DD02 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062GG11 , 2F062HH01 , 2F062HH05 , 2F062MM02 , 2F069AA46 , 2F069EE08 , 2F069EE22 , 2F069GG01 , 2F069GG12 , 2F069HH02 , 2F069MM02 , 2F069MM23 , 4M106AA01 , 4M106CA48 , 4M106DH03

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-055901
特開昭62-150102
光学測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-329971 出願人：キヤノン株式会社

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