特許

J-GLOBAL ID：200903015634810130

超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法並びに超純水中の微粒子捕集用濾過膜及び部品の保管・運搬方法

発明者： 小堀 大二郎 ,  亀谷 真理
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 畑中 芳実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126562
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 超純水中に含まれる微粒子数を測定する際に使用される微粒子捕捉用濾過膜に付着している汚染微粒子を効果的に除去することができ、したがって微粒子捕捉時における濾過膜への超純水の通水量の低減、濾過時間の短縮を図ることができる洗浄方法を提供する。【解決手段】 濾過膜の洗浄水として、超純水43に界面活性剤85を添加してなる洗浄水、超純水を電気分解して得られる電解カソード水に界面活性剤を添加してなる洗浄水、超純水に水素ガスを溶解した水素溶解水に界面活性剤を添加してなる洗浄水、超純水を電気分解して得られる電解アノード水に界面活性剤を添加してなる洗浄水、又は、超純水に酸素ガス、塩素ガス及びオゾンガスから選ばれる1種を溶解した酸化性ガス溶解水に界面活性剤を添加してなる洗浄水を用いる。さらに好ましくは、洗浄水のpH調整、界面活性剤の種類の選択、洗浄水の加温、洗浄水への超音波照射を行う。

請求項（抜粋）：

超純水に界面活性剤を添加してなる洗浄水により、超純水中の微粒子捕捉用濾過膜を洗浄することを特徴とする超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法。

IPC (5件)：

B01D 65/06 ,  B01D 65/00 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44 ,  G01N 15/00

FI (5件)：

B01D 65/06 ,  B01D 65/00 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44 J ,  G01N 15/00 Z

Fターム (30件)：

4D006GA02 ,  4D006HA41 ,  4D006KC02 ,  4D006KC07 ,  4D006KC13 ,  4D006KC15 ,  4D006KC16 ,  4D006KC19 ,  4D006KC21 ,  4D006KD04 ,  4D006KD11 ,  4D006KD17 ,  4D006KD21 ,  4D006KD23 ,  4D006KD30 ,  4D006KE11R ,  4D006KE15R ,  4D006KE16R ,  4D006KE30R ,  4D006LA01 ,  4D006LA08 ,  4D006MA03 ,  4D006MA22 ,  4D006MB10 ,  4D006MC03 ,  4D006MC49 ,  4D006PA01 ,  4D006PB20 ,  4D006PC02 ,  4D006PC42

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 超純水中の微粒子測定用膜等の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095167   出願人：オルガノ株式会社
• 超純水製造供給装置及びその洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-016575   出願人：オルガノ株式会社
• 超純水の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-084068   出願人：オルガノ株式会社