クロマティックポイントセンサの動作方法、及び、クロマティックポイントセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-290054
公開番号（公開出願番号）：特開2009-122105
出願日： 2008年11月12日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：

【課題】クロマティックポイントセンサに改良された精度とロバスト性を与える。【解決手段】距離測定はプロファイルデータの決定されたピーク位置指標座標ppicと共に変化する方法で選択された強度プロファイルデータの距離を示す下位セットに基づく。ppicはプロファイルデータピークの位置を指示する。特定のppicを持つプロファイルデータに対して、その距離を示す下位セットが同じ特定のppicによって指示される特定の指標に固有なデータ限定パラメータに基づいて選択される。特定のppicによって指示された指標に固有なデータ限定パラメータの各セットが、そのppicを持つプロファイルデータに対応する距離校正動作に際して使われる距離を示すデータの下位セットを特徴付ける。データの距離を示す下位セットが全体的な強度の変動及び検出器バイアス信号レベルの変動に係わらず校正動作の間に使われる対応する距離を示すデータの下位セットと同様に補償される。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

ワーク表面までの距離を測定するために、色分散光学系及び空間フィルタ開口を有する光学ペンと、波長検出器、指標に固有なデータ限定パラメータのセットに対応するデータを含む校正メモリ部及び信号プロセッサを有する電子回路部を含むクロマティックポイントセンサを動作させるための方法であって、クロマティックポイントセンサから光学ペンを通して多波長光を出力し、複数の各波長光の焦点を、光軸に沿って対応する複数の各焦点距離に結ばせ、光学ペンに対する測定距離に光軸に沿ってワーク表面を配置し、光学ペンを通してワーク表面からの各波長光を反射して波長検出器に入射し、その結果、波長検出器の検出器アレイの測定軸に沿い複数の画素にわたって分布する分光強度プロファイルを形成し、前記電子回路部を、前記波長検出器測定軸に沿って複数の画素に対応する測定時プロファイルデータのセットを与え、該測定時プロファイルデータのセットに基づいて、検出器アレイ測定軸に沿う分光強度プロファイルの分光ピークの位置に略対応するピーク位置指標座標ppicを決定し、前記校正メモリ部からピーク位置指標座標ppicに対応する、少なくとも1つの指標に固有なデータ限定パラメータを有する、指標に固有なデータ限定パラメータのセットを選択し、測定時間プロファイルデータのセット、及び、指標に固有なデータ限定パラメータの選択したセットに基づいて、測定時プロファイルデータのセットの距離を示す下位セットを決定し、該測定時プロファイルデータのセットの距離を示す下位セットに基づいて、ワーク表面までの測定距離に対応する座標を示す画素以下の分解能の距離を決定し、決定された、座標を示す画素以下の分解能の距離と、既知の測定距離をクロマティックポイントセンサからの座標を示す結果としての距離を相関させる距離校正データに基づいて、ワーク表面までの測定距離を決定するように動作させることを特徴とするクロマティックポイントセンサの動作方法。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G01C 3/00

FI (2件)：

G01C3/06 120P , G01C3/00 120

Fターム (11件)：

2F112AB07 , 2F112BA07 , 2F112CA12 , 2F112DA04 , 2F112DA19 , 2F112DA21 , 2F112DA30 , 2F112FA09 , 2F112FA21 , 2F112FA35 , 2F112FA41

引用特許：

出願人引用 (6件)

米国特許出願公開第US2006/0109483号明細書
高さ判別装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-181681 出願人：オムロン株式会社
光学式測距装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-030429 出願人：株式会社日本技研

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