ガスセンサ及び窒素酸化物センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192902
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028576
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】被測定ガス中に発生する排気圧の脈動の影響を回避して、検出電極での測定精度の向上を図る。【解決手段】第1室18に導入される被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する第1の拡散律速部26を、第2のスペーサ層12eの前端部分であって第2の固体電解質層12fの下面に接する部分に形成された横長の開口が第1室18まで同一の開口幅で形成されたスリット30と、第2のスペーサ層12eの前端部分であって第1の固体電解質層12dの上面に接する部分に形成された横長の開口が第1室18まで同一の開口幅で形成されたスリット32を有して構成し、スリット30及び32をほぼ同じ断面形状とし、縦方向の長さを10μm以下、横方向の長さを約2mmとする。

請求項（抜粋）：

外部空間における被測定ガス中の被測定ガス成分の量を測定するガスセンサであって、少なくとも、前記外部空間に接する固体電解質と、前記固体電解質内部に形成された内部空所と、前記外部空間からガス導入口を介して所定の拡散抵抗の基に前記被測定ガスを導入するためのスリットで形成された拡散律速手段と、前記内部空所の内外に形成された内側ポンプ電極と外側ポンプ電極を有し、かつ、前記外部空間から導入された前記被測定ガスに含まれる酸素を前記電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理するポンプ手段とを具備したガスセンサにおいて、前記拡散律速手段の断面形状を形成する1因子の寸法が、10μm以下であることを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/419

FI (2件)：

G01N 27/46 331 , G01N 27/46 327 E

引用特許：

審査官引用 (9件)

窒素酸化物の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-111083 出願人：日本碍子株式会社
ガス分析計及びその校正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-106167 出願人：日本碍子株式会社
ガス濃度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-178037 出願人：山陽電子工業株式会社, 矢崎総業株式会社

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