特許
J-GLOBAL ID：200903015930348824

静電吸着装置

発明者：
山口 慎治

山口 慎治 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323515
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134599
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】静電チャック上に被吸着物を吸着した後に発生するパーティクルを低減する。【解決手段】被吸着物7を吸着するための静電吸着装置1を提供する。装置1は、基体5と、基体5の表面2に設けられた突起部3とを備えている。突起部3が、被吸着物7に接触して吸着する誘電体部3aおよび少なくとも吸着時の温度において変位可能な応力緩和部3bを備えている
請求項（抜粋）：
被吸着物を吸着するための静電吸着装置であって、基体と、この基体の表面に設けられた突起部とを備えており、前記突起部が、前記被吸着物に接触して吸着する誘電体部および少なくとも吸着時の温度において変位可能な応力緩和部を備えていることを特徴とする、静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 648
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/304 622 H ,  H01L 21/304 648 Z
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA17 ,  5F031MA23 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031MA34 ,  5F031PA26
引用特許：
審査官引用 (4件)
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