ウェーハの厚み加工量測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007676
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202520
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの表面を研磨する研磨機において加工中のウェーハの厚み加工量を直接的にインラインで測定することができるウェーハの厚み加工量測定装置を提供する。【解決手段】ウェーハテーブル18の下面外周部にリング状の導体(裏面測定基準部材)74を固着し、ウェーハ50の裏面50Bと一定の距離に裏面測定基準を設ける。そして、研磨定盤10にウェーハ50の研磨面50Aと裏面測定基準部材74を臨む穴66、76を設け、これらの穴66、76にそれぞれウェーハ50の研磨面50Aまでの距離を測定する容量センサ60と渦電流センサ62を設ける。ウェーハ50の研磨時にこれらの容量センサ60と渦電流センサ62によって、ウェーハの研磨面50Aまでの距離と、裏面測定基準までの距離を測定し、これらの測定した距離の差分の変化量を検出することにより、インラインでウェーハの厚み加工量を測定することができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハの裏面をウェーハテーブルで保持した状態で研磨定盤に取り付けられた研磨布に前記ウェーハの表面を押し付けながら前記ウェーハテーブルと前記研磨定盤を相対的に回転させて前記ウェーハの表面を研磨する研磨機において、前記研磨定盤に設けられた前記ウェーハの表面を臨む第1の穴と、前記研磨定盤に設けられた前記ウェーハの裏面と一定の距離にある基準面を臨む第2の穴と、前記第1の穴に設置され、前記ウェーハの表面までの距離を非接触で測定する第1の測長手段と、前記第2の穴に設置され、前記ウェーハの裏面と一定の距離にある前記基準面までの距離を非接触で測定する第2の測長手段と、から成り、前記ウェーハの表面までの距離と前記ウェーハの裏面までの距離の差の変化量から前記ウェーハの厚み加工量を測定することを特徴とするウェーハの厚み加工量測定装置。

IPC (3件)：

B24B 49/02 , B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 49/02 Z , B24B 37/04 D , H01L 21/304 321 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-234467
ワークの厚さ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-203703 出願人：スピードファム株式会社
特開平3-170265

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