特許
J-GLOBAL ID：200903016052889269

薄膜磁気ヘッド及びその製造方法

発明者：
佐藤 清

佐藤 清 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について


代理人 (1件)： 野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187467
公開番号（公開出願番号）：特開2000-020918
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 特にコイル層が2段構造で形成された薄膜磁気ヘッドでは、コイル層上に形成される絶縁層の盛り上がりが大きく、絶縁層が形成されていない下部コア層の先端部から絶縁層上にかけて上部コア層形成のためのレジスト層が形成されると、先端付近の下部コア層上に形成されるレジスト層は厚くなり、上部コア層の先端部を所定形状で形成することができず、狭トラック化に対応できない。【解決手段】 下部コア層33が、第1の磁性材料層31上から垂直に延び、磁気抵抗効果素子層22上にまで形成されている。コイル層27は、前記下部コア層の後方に形成されており、前記コイル層上に形成される絶縁層28は、下部コア層表面Sからわずかt2だけ盛り上がっている。従って上部コア層29形成のためのレジスト層を一定の厚さで薄く形成でき、上部コア層29の先端部29aを所定形状で形成でき、狭トラック化に対応できる。
請求項（抜粋）：
磁性材料の下部シールド層と、前記下部シールド層の上に形成された非磁性のMRギャップ層と、このMRギャップ層内にあって記録媒体との対向面に臨む磁気抵抗効果素子層と、前記MRギャップ層の上に形成された磁性材料製の下部コア層と、前記記録媒体との対向面で下部コア層の上に非磁性のギャップ層を介して対向する磁性材料の上部コア層と、前記下部コア層及び上部コア層に記録磁界を誘導するコイル層と、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部コア層は、前記記録媒体との対向面に臨む位置から磁気抵抗効果素子層の後方まで延びて、前記後方にて下部シールド層の方向へ屈曲して前記下部シールド層に磁気的に接しており、前記コイル層は前記下部コア層の後端の段差より後退した位置で且つ磁気的に下部シールド層と上部コア層と間に位置し、このコイル層で誘導される磁路が、下部シールド層、下部コア層、上部コア層に渡って形成されることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (2件)：
G11B 5/31 ,  G11B 5/39
FI (2件)：
G11B 5/31 K ,  G11B 5/39
Fターム (12件)：
5D033BA07 ,  5D033BA31 ,  5D033BA36 ,  5D033BB43 ,  5D033CA05 ,  5D033DA04 ,  5D033DA07 ,  5D034BA02 ,  5D034BA18 ,  5D034BB12 ,  5D034CA06 ,  5D034DA07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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