特許
J-GLOBAL ID：200903016099251343
薄膜構造部材とその製造方法およびこれを用いたスイッチング素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306832
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117896
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 ヒンジバネやミラーなどの可動部における反りの発生を抑制し、信頼性の高いスイッチング動作を実現する。【解決手段】 基体1上に配設された電気接点4,4’と、電気接点5,5’を配備した可動部3aを備え、可動部3aは、ばね部3c,3c’を介して支持部3b,3b’に固定する。ばね部3c,3c’は、1つ以上の平面と、この平面と例えば略90°の角度をなして連続した別の1つ以上の平面とからなる薄膜構造部材から構成する。
請求項（抜粋）：
1つ以上の面とこの面と所定の角度をなして連続した別の1つ以上の面とを備えた薄膜から構成されたことを特徴とする薄膜構造部材。
IPC (5件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/08
, H01H 50/24
, H01H 51/06
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/08 E
, H01H 50/24 Y
, H01H 51/06 D
, H01H 51/06 S
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ08
