集積型マイクロスイッチおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003631
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076605
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】耐久性の高い集積型マイクロスイッチを提供する。【解決手段】可動板をシーソー運動可能な状態に支持し、この可動板を静電気力または磁気力によってシーソー運動させ、可動板の両方の遊端に装着した可動接点によって固定接点間を電気的に断続制御する構造とした集積型マイクロスイッチ。

請求項（抜粋）：

A.基板の一方の面に突出して形成された支柱と、B.この支柱によってシーソー運動可能な状態に支持された可動板と、C.この可動板の回動支点の両側辺と基板との間を回動自在に連結する位置保持手段と、D.上記可動板の一方の回動端側と上記基板との間および上記基板の他方の回動端側と上記基板との間の何れか一方に力を発生させ、上記可動板をシーソー運動させる駆動手段と、E.上記可動板の遊端に装着した可動接点と、F.上記可動接点によって電気的に接離される固定接点と、によって構成された集積型マイクロスイッチ。

IPC (10件)：

H01H 59/00 , B81B 3/00 , H01H 3/28 , H01H 11/00 , H01H 23/02 , H01H 23/16 , H01H 49/00 , H01H 50/00 , H01H 51/06 , H01H 51/12

FI (10件)：

H01H 59/00 , B81B 3/00 , H01H 3/28 B , H01H 11/00 V , H01H 23/02 D , H01H 23/16 Z , H01H 49/00 J , H01H 50/00 Z , H01H 51/06 S , H01H 51/12 J

Fターム (5件)：

5G023AA01 , 5G023AA11 , 5G023CA25 , 5G023CA29 , 5G023CA30

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-211218
マイクロマシーン
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-216915 出願人：シヤープ株式会社
静電力駆動小型光スキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-334064 出願人：松下電器産業株式会社

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