特許
J-GLOBAL ID：200903016153545161
RFプラズマ印加用の改良型RF電力制御デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-520335
公開番号（公開出願番号）：特表2007-532028
出願日： 2004年07月14日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
調和および非調和なスプリアスな周波数の存在下においてフィードバック制御電圧を最適化するプラズマ用の改良型rf電力制御装置を提供する。このシステムでは無線受信器用途に通常用いられるのと類似の発振器(28)とミキサ(24’)が、プラズマ点火のために用いられる固体rf供給源のサンプリングされた出力に配置される。サンプリングされた出力は、低周波数へとミキシングされフィルタリングされて、非線形のプラズマにおいて生成されたスプリアスな周波数を除去する。この態様でフィードバック電力制御は基本的にスプリアスな周波数を無視する。このアプリケーションでは、発信器(28)と混合器(24’)は、別の所望なシステム特性と干渉せず、プラズマのスプリアス成分の変化からフィードバック制御電圧を効率的に分離する。これは、従来の電力制御デバイスおよび方法で可能な精度より高い精度でのrf電力のプラズマへの送達が可能にする。
請求項（抜粋）：
プラズマにrf電力を送達するVHF生成器であって、
a)指向性結合器に接続された電力増幅器を含む可変rf信号生成器と、
b)処理チャンバにおいて電力がプラズマに送達される整合ネットワークに接続された1つの出力部を有する該指向性結合器と、
c)該rf信号生成器の前進電力信号をサンプリングするように配置された該指向性結合器の少なくとも1つの出力部と、該rf信号生成器の反射された電力信号をサンプリングするように配置された該指向性結合器の少なくとも1つの出力部と
を備え、
d)該サンプリングされた前進信号および反射された信号の各々が、発振器の中間周波数とミキシングするミキサに接続されており、
e)該ミキシングされた前進信号および反射された信号が、ローパスフィルタを通過させられ、
f)該フィルタリングされた前進信号および反射された信号が、増幅器および検出器に接続されており、
g)該検出された前進信号および反射された信号が、電力制御回路にフィードバックされ、ここで、該プラズマに送達された電力が、該プラズマによって生成されたスプリアスな周波数の信号からの干渉なしに、モニタリングされる、
VHF生成器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
5J500AA01
, 5J500AA41
, 5J500AC75
, 5J500AF17
, 5J500AK29
, 5J500AK42
, 5J500AK44
, 5J500AK55
, 5J500AK68
, 5J500AM13
, 5J500AS00
, 5J500AT01
, 5J500CK06
