高周波電源及びその制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡部敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375961
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179030
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】本発明は、プラズマ生成時に発生する高調波や変調波を精度よく除去して誤動作を防止すると共に、適正な高周波をプラズマ処理装置に印加することができる高周波電源及びその制御方法を提供する。【解決手段】プラズマ処理装置用の高周波電源は、方向性結合器21と、ミキサー22と、100kHzのローパスフィルタ23と、低周波検波器24と、発振器25とで構成されたパワーモニタを備え、方向性結合器21により取り出された変調波等を含む周波数100MHzの高周波と発振器25により発振された周波数99.9MHzの高周波とをミキサー22により加算し、その出力をローパスフィルタ23及び低周波検波器24により100kHzに変換して検波を行う。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置の処理容器内にプラズマを生成するための高周波を発生する高周波発生源と、前記プラズマの生成時に発生する高調波及び変調波を除去して前記高周波を制御する制御手段とを備える高周波電源において、前記制御手段は、前記高周波の周波数を所定の周波数に変換した後、前記高調波及び前記変調波を除去して検波を行うことを特徴とする高周波電源。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , H05H 1/00 , H05H 1/46

FI (3件)：

H05H 1/00 A , H05H 1/46 R , H01L 21/302 B

Fターム (4件)：

5F004BA04 , 5F004BA14 , 5F004BB11 , 5F004CA03

引用特許：

審査官引用 (9件)

高周波検出方法および高周波検出回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-332110 出願人：パール工業株式会社
プラズマ密度情報測定方法及びその装置、並びにプラズマ密度情報測定用プローブ、プラズマ密度情報測定用記録媒体、プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-204542 出願人：株式会社ニッシン
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-076354 出願人：株式会社東芝

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