特許
J-GLOBAL ID：200903016169762472
プラズマ化学蒸着装置、プラズマ発生方法、プラズマ化学蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
工藤 実
, 中尾 圭策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-346289
公開番号（公開出願番号）：特開2005-113178
出願日： 2003年10月03日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】大きな高周波電力でも、効率的にプラズマを発生させ、発生するプラズマをより精密に調整可能なプラズマ化学蒸着装置を提供する。【解決手段】複数の第1整合器4-iと放電電極1と複数の第2整合器7-iと対応電極とを具備するプラズマ化学蒸着装置を用いる。第1整合器4-iは、第1電力を第1出力側へ出力する。第1出力側のインピーダンス整合をとる。放電電極1は、第1出力側にあり、複数の第1整合器4-iの各々に対応した複数の第1給電点15-iのうちの1つに第1電力を供給される。第2整合器7-iは、第2電力を第2出力側へ出力する。第2出力側のインピーダンス整合をとる。対向電極は、放電電極1に対向する。放電電極1は、第2出力側にあり、複数の第2整合器7-iの各々に対応した複数の第2給電点16-iのうちの1にその第2電力を供給される。対向電極との間にガスの放電を形成し、基板に成膜する。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
第1電力を第1出力側へ出力する複数の第1整合器と、ここで、前記複数の第1整合器の各々は、前記第1出力側のインピーダンスの整合をとり、
前記第1出力側にあり、前記複数の第1整合器の各々に対応した複数の第1給電点のうちの一つに前記第1電力を供給される放電電極と、
第2電力を第2出力側へ出力する複数の第2整合器と、ここで、前記複数の第2整合器の各々は、前記第2出力側のインピーダンスの整合をとり、
前記放電電極に対向する対向電極と
を具備し、
前記放電電極は、更に、前記第2出力側にあり、前記複数の第2整合器の各々に対応した複数の第2給電点のうちの一つに前記第2電力を供給され、前記対向電極との間に、供給されたガスの放電を形成し、前記対向電極上の基板に成膜する
プラズマ化学蒸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
4K030AA06
, 4K030BA29
, 4K030BB04
, 4K030CA06
, 4K030CA17
, 4K030DA06
, 4K030FA03
, 4K030JA01
, 4K030JA16
, 4K030JA18
, 4K030JA19
, 4K030KA15
, 4K030KA30
, 5F045AA08
, 5F045AB02
, 5F045AC01
, 5F045BB02
, 5F045CA05
, 5F045CA13
, 5F045EH04
, 5F045EH19
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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