角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉信興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-171869
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009470
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】物理的(電気的および機械的)外乱による検出精度の低下を防止。角速度検出精度の向上。【解決手段】 x方向に延びる平行な、対の連結梁(bb1,bb2);これらに連続するx方向の撓み性が高いばね梁(1〜4/21〜24)に連続し、対の連結梁(bb1,bb2)の間に位置する、x方向に並んだ第1駆動枠(5)および第2駆動枠(25);第1駆動枠(5)の内方にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁(7〜10)に連続する第1振動体(11);第2駆動枠(25)の内方にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁(27〜30)に連続する第2振動体(31);第1駆動枠(5)および第2駆動枠(25)の少くとも一方をx方向に振動駆動する励振手段(15,16/35,36);第1振動体(11)のy振動を検出する第1の変位検出手段(13,14);および、第2振動体(31)のy振動を検出する第2の変位検出手段(33,34);を備える。

請求項（抜粋）：

基板で浮動支持された、x方向に延びる平行な、対の連結梁;これらに連続するx方向の撓み性が高いばね梁に連続し、対の連結梁の間に位置する、x方向に並んだ第1駆動枠および第2駆動枠;第1駆動枠の内方にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁に連続する第1振動体;第2駆動枠の内方にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁に連続する第2振動体;第1駆動枠および第2駆動枠の少くとも一方をx方向に振動駆動する手段;第1振動体のy振動を検出する第1の変位検出手段;および、第2振動体のy振動を検出する第2の変位検出手段;を備える角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB09 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (6件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306238 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
マイクロジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348972 出願人：三星電子株式会社, 韓國科學技術院
回転率センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-126095 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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