特許

J-GLOBAL ID：200903024251484319

回転速度センサ

発明者： ハルトマン, ベルンハルト ,  カプセル, コンラート ,  ゴツテインゲル, ラインハルト ,  ギユントネル, シユテフアン
出願人/特許権者： コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-535984
公開番号（公開出願番号）：特表2008-514968
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持つ回転速度センサに関する。本発明によれば、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

回転速度センサであって、基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持ち、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている、回転速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (12件)：

2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-351552   出願人：株式会社村田製作所
• 振動ジャイロセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-292586   出願人：住友精密工業株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-176992   出願人：アイシン精機株式会社
• 直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-517158   出願人：ハーン-シッカート-ゲゼルシャフトフアアンゲワンテフォルシュンクアインゲトラーゲナーフェライン
• 静電可動機構、共振型装置および角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-018952   出願人：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-351511   出願人：株式会社デンソー