縦型ウエハボート

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059983
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293685
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】熱応力で破損せず、十分な強度を有し、軽量でハンドリングが容易であり、炉内の温度変化を軽減できる縦型ウエハボートを提供する。【解決手段】炭化ケイ素質の一対の環状をなす端板51、52と複数本の支柱53a〜53dを一体化し、全長Eを800mm 以上とし、端板51、52と支柱53a〜53dとの接合部のコーナーに炭化ケイ素を肉盛りする。

請求項（抜粋）：

上下に配設された一対の環状をなす端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる、全長が800mm以上の一体化接合構造体とされ、前記端板と前記支柱との接合部のコーナーに炭化ケイ素を主成分とする肉盛りが形成されていることを特徴とする縦型ウエハボート。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/205 , H01L 21/31 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/22 511 G , H01L 21/205 , H01L 21/31 F , H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-300262
特開平4-300262
縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-287786 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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