投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-106805
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006957
出願日： 1998年04月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】非球面形状のレンズ面を使用することによって大きなNAと広い露光領域を確保し、諸収差を極めて良好に補正し得るコンパクトで高性能な投影光学系を提供する。【解決手段】物体側から像面側へ向かって順に、正の屈折力の第1レンズ群と、負の屈折力の第2レンズ群と、少なくとも3枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体として正の屈折力の第3レンズ群と、少なくとも3枚以上の負屈折力のレンズを有し、全体として負の屈折力の第4レンズ群と、少なくとも3枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体として正の屈折力の第5レンズ群と、正の屈折力の第6レンズ群と、を含み、前記第4レンズ群または前記第5レンズ群に非球面を少なくとも1面以上含むように構成したことを特徴とする投影光学系を提供する。

請求項（抜粋）：

物体側から像面側へ向かって順に、正の屈折力の第1レンズ群と、負の屈折力の第2レンズ群と、少なくとも3枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体として正の屈折力の第3レンズ群と、少なくとも3枚以上の負屈折力のレンズを有し、全体として負の屈折力の第4レンズ群と、少なくとも3枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体として正の屈折力の第5レンズ群と、正の屈折力の第6レンズ群と、を含み、前記第4レンズ群または前記第5レンズ群に非球面を少なくとも1面以上含むように構成したことを特徴とする投影光学系。

IPC (4件)：

G02B 13/24 , G02B 13/18 , H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

G02B 13/24 , G02B 13/18 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-263932 出願人：株式会社ニコン
投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-311050 出願人：株式会社ニコン
投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-000872 出願人：株式会社ニコン

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