特許
J-GLOBAL ID：200903016263771019
校正用ガス調製装置及びガス分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220329
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013045
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 校正用ガス調製装置や分析部が汚染されることを防ぐと共に、仮に汚染された場合にも、ガス分析装置の測定精度に影響を与えない校正用ガス調製装置及びガス分析装置を提供する。【解決手段】 スパンガス供給を開始する際には、ポンプ11を予め所定時間作動させてから開閉弁23を開とする。スパンガス供給を終了する際には、開閉弁23を閉としてからポンプ11を引き続き所定時間強制的に作動させる。また、校正を開始する際には、ポンプ11を予め所定時間作動させてから切替部材50により校正用ガス供給ライン30側を選択する。さらに、試料ガスの分析を行っている期間に、定期的に開閉弁23を閉とした状態でポンプ11を所定時間作動させる。
請求項（抜粋）：
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記ポンプを作動させながら前記開閉弁を開くことにより校正用ガス供給ラインからスパンガスを供給する校正用ガス調製装置において、スパンガス供給を開始する際に、前記ポンプを予め所定時間作動させてから前記開閉弁を開とすることを特徴とする校正用ガス調製装置。
IPC (3件)：
G01N 1/00 102
, G01N 1/00
, G01N 1/00 101
G01N 1/00 102 D
, G01N 1/00 C
, G01N 1/00 101 S
