ガスセンサ及びガス検知システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-155829
公開番号（公開出願番号）：特開2007-322355
出願日： 2006年06月05日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】電界効果型トランジスタ(FET)を用いたFET型ガスセンサの加熱電力を最小化し、長寿命化を図る。【解決手段】FETのゲート絶縁膜上に成膜される感応電極31に二つの端子10、11を設け、異なる電位を与えて電流を流す。加熱が必要な感応電極31自体に電流を流すことで感応電極31が発熱体となるので、最も効率よくFET型ガスセンサを加熱できる。また、端子10、11は温度検出部の一部を構成し、加熱された感応電極31の温度を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検知対象ガスの濃度に依存してゲート電位が変化する電界効果型トランジスタを用いたガスセンサであって、ソース、ドレイン間のチャネル領域上に形成されるゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に設けられた感応電極と、前記感応電極に接続され、相異なる電位を与えることにより、前記感応電極に電流を流し、前記感応電極の温度を上昇させる二つの端子と、前記感応電極の温度を検出する温度検出部とを有するガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/00 , G01N 27/414

FI (2件)：

G01N27/00 J , G01N27/30 301X

Fターム (26件)：

2G060AB03 , 2G060AB08 , 2G060AB17 , 2G060AB18 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA07 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060BB18 , 2G060BD02 , 2G060DA07 , 2G060DA10 , 2G060DA14 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HC02 , 2G060HC08 , 2G060HC13 , 2G060HC19 , 2G060HC21 , 2G060HC22 , 2G060HD03 , 2G060KA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2848818号公報
化学物質の検出方法およびそのためのセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-057186 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

審査官引用 (8件)

特開昭63-101740
特許第2848818号
特開昭55-087941

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