特許
J-GLOBAL ID:200903016292303385
高熱伝導窒化ケイ素質焼結体の製造方法およびその焼結体
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-159034
公開番号(公開出願番号):特開2000-344577
出願日: 1999年06月07日
公開日(公表日): 2000年12月12日
要約:
【要約】【課題】 窒素雰囲気下の高温・高圧での焼成を必要とせず、高い熱伝導率と強度を有する高熱伝導窒化ケイ素質焼結体の製造方法およびその焼結体を提供する。【解決手段】 酸素含有量が2.0wt%以下の窒化ケイ素粉末に、焼結助剤としてマグネシウム(Mg)を酸化マグネシウム(MgO)換算して、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物(RExOy)換算して、その合計量が0.5〜5.0体積%の割合で添加して成形した後、窒素雰囲気下あるいは不活性雰囲気下で、1750〜1950°Cの温度で焼成することを特徴とする。
請求項(抜粋):
酸素含有量が2.0wt%以下の窒化ケイ素粉末に、焼結助剤としてマグネシウム(Mg)を酸化マグネシウム(MgO)換算して、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物(RExOy)換算して、その合計量が0.5〜5.0体積%の割合で添加して成形した後、窒素雰囲気下あるいは不活性雰囲気下で、1750〜1950°Cの温度で焼成することを特徴とする高熱伝導窒化ケイ素質焼結体の製造方法。
IPC (3件):
C04B 35/626
, C01B 21/068
, C04B 35/584
FI (3件):
C04B 35/58 102 R
, C01B 21/068 R
, C04B 35/58 102 C
Fターム (20件):
4G001BA03
, 4G001BA06
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA10
, 4G001BA32
, 4G001BA73
, 4G001BB03
, 4G001BB06
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB10
, 4G001BB32
, 4G001BC01
, 4G001BC03
, 4G001BC13
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BD03
, 4G001BD14
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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