特許
J-GLOBAL ID：200903016419777462

陽極接合用結晶化ガラス

発明者：
宮崎 誠司

宮崎 誠司 について

, 
森 智隆

森 智隆 について


出願人/特許権者：
旭テクノグラス株式会社

旭テクノグラス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-036464
公開番号（公開出願番号）：特開2003-238202
出願日： 2002年02月14日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 シリコンとの熱膨張係数差を最小限に抑え、陽極接合温度を250°C以下である陽極接合用結晶化ガラスを提供すること。【解決手段】 β-石英またはβ-石英固溶体を主結晶とする陽極接合用結晶化ガラスにおいて、実質的にNa2Oを含有せず、モル%表示でSiO2:60〜69%、Al2O3:12〜18%、Li2O:6〜10%、MgO:1〜6%、ZnO:0〜4%、TiO2:1〜6%、ZrO2:0〜3%、P2O5:0〜3%を含有し、かつ結晶相の割合を10〜50体積%とした。
請求項（抜粋）：
β-石英またはβ-石英固溶体を主結晶とする結晶化ガラスにおいて、実質的にNa2Oを含有せず、モル%表示でLi2O:6〜10%を含有し、かつ結晶相の割合が10〜50体積%であることを特徴とする陽極接合用結晶化ガラス。
IPC (5件)：
C03C 10/14 ,  C03C 3/085 ,  C03C 3/097 ,  G01L 9/00 303 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
C03C 10/14 ,  C03C 3/085 ,  C03C 3/097 ,  G01L 9/00 303 K ,  H01L 29/84 Z
Fターム (82件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055DD07 ,  2F055EE13 ,  2F055FF01 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  4G062AA11 ,  4G062BB01 ,  4G062CC10 ,  4G062DA06 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DD02 ,  4G062DD03 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DF01 ,  4G062EA03 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED03 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM08 ,  4G062NN29 ,  4G062NN30 ,  4G062QQ02 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112DA20 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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