特許
J-GLOBAL ID:200903016446692681
光表面特性の測角検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-206140
公開番号(公開出願番号):特開2006-030204
出願日: 2005年07月14日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】 一方で、例えば僅かに異なる立体角で塗装部の種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しく異なっている角度での観察も実施できるようにすることにある。【解決手段】 本発明による光表面特性を検査する装置は、少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置とを備えている。前記検出装置は輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されている。その場合、前記照射装置および/または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、
前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備え、その場合、前記検出装置が輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されていて、
前記照射装置および/または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている、
ことを特徴とする光表面特性を検査する装置。
IPC (3件):
G01N 21/27
, G01J 3/46
, G01N 21/57
FI (3件):
G01N21/27 B
, G01J3/46 Z
, G01N21/57
Fターム (19件):
2G020AA08
, 2G020DA02
, 2G020DA06
, 2G020DA22
, 2G020DA31
, 2G020DA45
, 2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG10
, 2G059HH02
, 2G059KK01
, 2G059KK04
, 2G059KK10
引用特許:
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