静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042603
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242256
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】静電チャックを構成するセラミック誘電体層にpn結合された半導体の性質が見られたとしても、均一な吸着力が得られるようにする。【解決手段】被固定物との吸着面を有するセラミック誘電体層と絶縁基体との間に、正電圧を印加する第1の吸着用電極と、負電圧を印加する第2の吸着用電極を備えた双極型の静電チャックにおいて、上記正電圧を印加する第1の吸着用電極の面積を負電圧を印加する第2の吸着用電極より大きくする。

請求項（抜粋）：

被固定物との吸着面を有するセラミック誘電体層とセラミック基体との間に、正電圧を印加する第1の吸着用電極と、負電圧を印加する第2の吸着用電極を備えた双極型の静電チャックにおいて、上記正電圧を印加する第1の吸着用電極の面積を負電圧を印加する第2の吸着用電極より大きくしたことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

静電吸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-002168 出願人：富士通株式会社
特公昭57-044747
特開平4-343447

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