特許
J-GLOBAL ID:200903016592372907
接合検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 研二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-232541
公開番号(公開出願番号):特開2003-042975
出願日: 2001年07月31日
公開日(公表日): 2003年02月13日
要約:
【要約】【課題】 電子部品がはんだ接合された接合品のX線透過画像を撮像して接合欠陥を判定する際にX線照射の強度分布による影響を除去する。【解決手段】 X線を照射して得られた透過画像(判定範囲内)の各画素毎に隣接画素との明度差を算出し、この明度差が所定の閾値を超えるときにその画素を最大明度に設定(輪郭画素抽出)する(S108)。そして、輪郭画素によって囲まれる領域内の全ての画素を輪郭画素と同じ最大明度に設定(塗りつぶし)し(S110)。最大明度をもつ画素数を計測しこの画素数に基づいて接合欠陥の判定を行なう(S112,S114)。気泡欠陥の輪郭部位での隣接画素間の明度差は大きく現われ、X線強度分布に基づく隣接画素間の明度差は小さく現われるから、所定の閾値として適切な値を設定することにより、X線強度分布による影響を除去でき、より正確に接合欠陥を判定することができる。
請求項(抜粋):
基板上に部品が接合された接合品の接合部分の内部欠陥を、該接合品にX線を照射して得られる透過画像を用いて検査する接合検査装置であって、前記透過画像中の判定範囲内の各単位画素毎に隣接画素との明度差を算出し、該算出した明度差が所定の閾値以上であるときに該単位画素を輪郭画素として抽出する輪郭画素抽出手段と、該抽出された輪郭画素によって囲まれる領域を欠陥領域として設定する欠陥領域設定手段と、前記判定範囲内における該設定された欠陥領域の面積に基づいて前記接合部分の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを備える接合検査装置。
IPC (3件):
G01N 23/04
, G01B 15/00
, H05K 3/00
FI (3件):
G01N 23/04
, G01B 15/00 A
, H05K 3/00 Q
Fターム (17件):
2F067AA57
, 2F067AA62
, 2F067CC14
, 2F067DD08
, 2F067FF00
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK06
, 2F067LL16
, 2F067RR36
, 2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001GA05
, 2G001GA07
, 2G001KA03
, 2G001LA11
引用特許:
出願人引用 (10件)
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ディスクリート部品のはんだ欠陥検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-290718
出願人:株式会社ロゼフテクノロジー
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特開平4-359447
-
特開平4-355946
-
特開平4-096875
-
セーフティパッドの検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-105674
出願人:トヨタ自動車株式会社
-
特開昭63-261145
-
電子部品の接合部検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-343612
出願人:仲田周次, デンヨー株式会社
-
実装部品検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-181761
出願人:名古屋電機工業株式会社
-
特開昭57-182784
-
特開昭63-240832
全件表示
審査官引用 (16件)
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実装部品検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-181761
出願人:名古屋電機工業株式会社
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特開昭57-182784
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特開昭63-240832
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ディスクリート部品のはんだ欠陥検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-290718
出願人:株式会社ロゼフテクノロジー
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特開平4-359447
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特開平4-359447
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特開平4-355946
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特開平4-355946
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特開平4-096875
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特開平4-096875
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セーフティパッドの検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-105674
出願人:トヨタ自動車株式会社
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特開昭63-261145
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特開昭63-261145
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電子部品の接合部検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-343612
出願人:仲田周次, デンヨー株式会社
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特開昭57-182784
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特開昭63-240832
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