投影露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095930
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310396
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】照明光学系中にフライアイ・インテグレータを配置してレチクル上の照度均一性を向上させると共に、照明光学系によるレチクル上の照明領域の縦横比が1:1から大きく異なるような投影露光装置において、その照明領域の縦方向及び横方向の結像性能をできるだけ近づける。【構成】断面形状の縦方向の幅がΔXで横方向の幅がΔX/3のレンズエレメント7a,7b,....よりなるフライアイ・インテグレータ7の前に位相型の回折格子Gが形成された光透過性基板6を配置し、回折格子Gからの0次回折光及び±1次回折光により、フライアイ・インテグレータ7の射出面に光源像22a,23a,24a,....を形成する。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する光源系と、それぞれ前記照明光より光源像を形成する複数のレンズエレメントを束ねてなる光源像形成手段と、前記複数の光源像からの照明光を集光して転写用のパターンが形成されたマスクを重畳的に照明するコンデンサーレンズ系と、前記照明光のもとで前記マスクのパターン像を感光性の基板上に投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記光源系と前記光源像形成手段との間に前記光源系からの照明光の波面を複数の波面に分割する波面分割部材を配置したことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-225359
特開平4-196513
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287434 出願人：旭光学工業株式会社

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