シリコン溶解用ルツボおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116228
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】ルツボの内側が高純度シリカ層からなり、ルツボの外側が低純度シリカ層からなる積層構造を有するシリコン溶解用ルツボおよびその製造方法を提供する。【解決手段】ルツボの内側空間と同じ形状を有する蝋型1の表面に高純度シリカ層2を形成し、前記高純度シリカ層2の上に低純度シリカ層3を形成し、次いで、前記蝋型1を溶融除去する。

請求項（抜粋）：