特許
J-GLOBAL ID：200903016727720757
蒸着マスク及び蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-118014
公開番号（公開出願番号）：特開2004-323888
出願日： 2003年04月23日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】複数のマスク部を備えた多面付け用のメタルマスクをフレームに固定した構造で、製造時や保管時にシビアな温度管理が不要で且つ蒸着時においてもマスク部の位置精度を良好に保つことの可能な蒸着マスクを提供する。【解決手段】複数のマスク部15を備えたメタルマスク12を平坦に引っ張った状態で、その周縁部分を剛性の大きいフレーム13に固定した構造とすることで、マスク部のパターンを所望パターンに保持し、且つ、メタルマスク及びフレームを共に熱膨張率の小さいインバー材で形成することで、温度変化があってもメタルマスクがたわむことがないようにし、更に蒸着時の温度上昇に対してもメタルマスクの熱膨張を小さくして、マスク部の位置精度の低下を抑制し、位置精度の良い蒸着を可能とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数のマスク部を備えた金属薄板製のメタルマスクと、該メタルマスクを張った状態に保持するよう前記メタルマスクの周縁部分を固定支持した剛性の大きいフレームとを備え、該メタルマスク及びフレームが共にインバー材で形成されていることを特徴とする蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C14/24
, H05B33/10
, H05B33/14
C23C14/24 G
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BC07
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
