基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-061802
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232405
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】基板処理装置内でのパーティクルの発生の軽減化等を図る。【解決手段】基板Wを保持して回転させる基板回転保持機構100を有し、基板Wを回転させながら所定の基板処理を行なう回転式基板処理部4、7、8と、装置1への基板Wの搬入/搬出を行なう基板搬入出ユニット22と、装置1内で基板Wの搬送を行なう基板搬送ユニット3などを備えた基板処理装置1において、基板回転保持機構100は、基板Wの下面を点接触で支持する鉛直支持部VOと、基板Wの外周端縁に当接して基板Wの水平位置を規制する水平保持部HHとを備えて構成し、基板搬入出ユニット22や基板搬送ユニット3は、基板Wの下面を点接触で支持する鉛直支持部VOと、基板Wの水平移動を規制する水平規制部HCとを備えて構成した。

請求項（抜粋）：

基板を保持して回転させる基板回転保持機構を有し、基板を回転させながら所定の基板処理を行なう回転式基板処理部と、装置に対する基板の搬入/搬出を行なう基板搬入出手段と、装置内で基板の搬送を行なう基板搬送手段とを少なくとも備えた基板処理装置において、前記基板回転保持機構は、基板の下面に部分的に接触して基板を支持する鉛直支持部と、基板の外周端縁に当接して基板の水平位置を規制する水平保持部とを備えて基板を保持して回転させるように構成するとともに、前記基板搬入出手段、および、前記基板搬送手段は、基板の下面に部分的に接触して基板を支持する鉛直支持部と、基板の水平移動を規制する水平規制部とを備えて基板を支持し、基板の搬入/搬出、および、基板の搬送を行なうように構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 D , H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-211749
回転式基板処理装置用の基板回転保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-098752 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
ウエハ搬送アーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-087023 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

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