特許
J-GLOBAL ID:200903016827026246
より均一な温度曲線を得る熱作動装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小倉 正明
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-613762
公開番号(公開出願番号):特表2002-542948
出願日: 2000年04月20日
公開日(公表日): 2002年12月17日
要約:
【要約】マイクロ電子機械装置用の熱作動装置は、一端が基板(31)に取付けられた第1の加熱可能な導電性アーム(30)を備え、その長さに沿った輪郭は、基板(31)に近い部分で熱加熱を増大させるような大きさに作られる。特に、1つ以上の熱吸収領域(38)及び/またはアーム(30)に沿って厚みの増大する領域が一層均一な加熱曲線を提供し、それは曲げ効率を改善する。一実施形態では、作動装置は、インクジェットノズルチャンバ内の射出パドルを制御する。
請求項(抜粋):
マイクロ電子機械装置用の作動装置であって、前記作動装置は、一端が基板に取付けられ他端が可動部材に接続あるいは可動部材と一体化された電気的に伝導性の材料からなる第1アームを備え、前記第1アームは、使用に際し前記アームを通る電流の通過により加熱されるように配置されると共に、前記第1アームは、前記基板の取付け部材に隣接する領域に対して前記アームに加熱を集中させる機能を有する輪郭を伴う前記アームの長さ方向に形成されることを特徴とする熱作動装置。
IPC (4件):
B81B 3/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, F04B 9/00
FI (3件):
B81B 3/00
, F04B 9/00 A
, B41J 3/04 103 A
Fターム (7件):
2C057AG61
, 2C057BA06
, 2C057BA15
, 3H075AA07
, 3H075BB02
, 3H075CC11
, 3H075DB09
引用特許: