特許
J-GLOBAL ID：200903016875940090
表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222680
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055816
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】 色ムラ等の疑似欠陥を排除してボイド等の真の表面欠陥を検出できる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 本表面欠陥検査装置20は、被験ICパッケージ22を載置する検査ステ-ジ24と、検査ステージ24の上方に配置され、被験ICパッケージ22を撮像するCCDカメラ26と、検査ステージ24とCCDカメラ26との間に配置され、被験ICパッケージ22を照明する第1の照明器具28と、第1の照明器具28と、CCDカメラ26との配置された第2の照明器具30とを備えている。第1の照明器具で照射した場合と、第2の照明器具で照射した場合でのボイド、又は色ムラ画像の形状を比較することにより、形状が同じであればボイド、形状が違っていれば色ムラと判断することが出来る。
請求項（抜粋）：
ICパッケージの表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置であって、被験ICパッケージを載置させる載置台と、載置台の上方に配置され、載置台上の被験ICパッケージを撮像するCCDカメラと、CCDカメラで撮像できる照度で載置台上の被験ICパッケージを相互に異なる角度から光を照射する照明装置とを備え、光の角度を切り換えて被験ICパッケージを照明し、異なる角度の光で照射した被験ICパッケージを撮像するようにしたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
Fターム (13件)：
2G051AA61
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EB05
, 2G051EC01
, 2G051ED11
