静電アクチュエータ及びその駆動方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338587
公開番号（公開出願番号）：特開2002-199747
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】撮像される画像の拡大もしくは縮小を行うための複数の可動子を、互いに独立して動作させることが可能な静電アクチュエータを提供するにある。【解決手段】静電アクチュエータ1は、可動子2A,2B及び中空枠体の固定子を有し、可動子2A,2Bは、互いに離間してその中空部に挿入される。可動子2A(2B)には、対向して可動子側駆動用電極4(8)及び可動子側固定電極5(11)が形成され、可動子側駆動用電極4,8及び可動子側固定電極5,11に対向して夫々固定子3には、駆動用電極部12及び保持用電極部14A,14Bが設けられる。電極4,8,12は所定方向と交差する方向に、また、電極5,11,14A,14Bは所定方向に形成される。レンズ6,9を搭載する可動子2A,2Bの両者或いは一方が移動され、独立に固定されて撮像の為の焦点合わせ、拡大もしくは縮小が可能となる。

請求項（抜粋）：

所定方向に沿って配列され、その夫々がこの所定方向に交差する方向に延出されている第1の固定子電極と、この第1の固定子電極に対向して配置され、前記所定方向に沿って延出される第2の固定子電極と、この第1の固定子電極に対向して配置され、前記第2の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第3の固定子電極と、前記第1の固定子電極と前記第2及び第3の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第1の固定子電極に対向するように設けられた第1の可動子電極及び前記第2の固定子電極に対向するように設けられた第2の可動子電極を具備する第1の可動子と、前記移動空間内を前記移動方向に沿って移動可能に前記第1の可動子とは独立に配置され、前記第1の固定子電極に対向するように設けられた第3の可動子電極及び前記第3の固定子電極に対向するように設けられた第4の可動子電極を具備する第2の可動子と、から構成されることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 1/00 , G02B 7/04 , G02B 7/08

FI (3件)：

H02N 1/00 , G02B 7/08 B , G02B 7/04 E

Fターム (7件)：

2H044BE02 , 2H044BE07 , 2H044BE10 , 2H044DA01 , 2H044DA02 , 2H044DA04 , 2H044DB02

引用特許：

審査官引用 (8件)

撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084549 出願人：株式会社東芝
光学装置およびこの光学装置を用いた観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-046654 出願人：株式会社東芝
特開平2-211078

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