光照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-033120
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245912
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】光源を複数並べて配置する光照射装置において、コリメーション角を大きくすることなく、光の利用効率を向上させること。【解決手段】集光鏡2a,2bの開口部を形成する円の一部を光軸に対して斜めの平面で切り取り、その切断面が平行で集光鏡2a,2bの第2焦点を共有するように集光鏡2a,2bを配置する。また、インテグレータレンズ4のレンズを長方形状とし集光鏡2a,2bをそのレンズの長辺方向に沿って配置する。ランプ1a,1bから放射される光は集光鏡2a,2bで集光されインテグレータレンズ4に入射する。インテグレータレンズ4は、光出射側のレンズに投影される光源の像が、光源全体の投影面積に対し出射側レンズ内に投影される光源の面積の割合が最も大きな面積となるように設計する。これにより、コリメーション角を大きくすることなく光の損失を小さくすることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源から出射された光を、インテグレータレンズを介して矩形状の被照射物に照射する光照射装置であつて、光軸に対して直角方向の断面形状が矩形状であるレンズを、縦横方向に複数個並列配置することにより構成されたインテグレータレンズと、集光鏡とランプとにより構成された複数の光源とを備え、上記集光鏡の開口部を含む集光鏡の一部を集光鏡の光軸に対して斜めに切り取り、該切断面が平行で集光鏡の第2焦点を共有するように、複数の集光鏡を配置したことを特徴とする光照射装置。

IPC (4件)：

G03F7/207 , G02B19/00 , G02B27/00 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/207 Z , G02B19/00 , G02B27/00 V , H01L21/30 515D

Fターム (10件)：

2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA07 , 2H052BA12 , 2H097AB07 , 2H097GA45 , 2H097LA09 , 2H097LA12 , 5F046BA02 , 5F046CB13

引用特許：

審査官引用 (8件)

二重ランプ露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-283645 出願人：エルジー電子株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-073270 出願人：株式会社大日本科研
投写型表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058918 出願人：松下電器産業株式会社

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