特許
J-GLOBAL ID：200903009213231416

二重ランプ露光装置

発明者：
ジョー ウォン ドン

ジョー ウォン ドン について

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チャ サン ファン

チャ サン ファン について

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キム ミュン クワン

キム ミュン クワン について


出願人/特許権者：
エルジー電子株式会社

エルジー電子株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-283645
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149828
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 構造的に光の損失を低減せしめうる二重ランプ露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 パターンを形成するために感光材料の塗布されたパネルに光を照射する光学系を備えた露光装置において、前記光学系は地面と垂直に配置されて光を照射する2個のランプ10a、10bと、前記ランプに各々設置されて照射された光が上側または下側に照射されるように反射させる楕円鏡11a、11bと、各々のランプおよび楕円鏡から照射された光の経路を調整する第1経路調整系と、入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズ13と、前記フライアイレンズ13から発散された光を露光面に垂直に反射させるコリメートミラー16と、前記フライアイレンズ13に直交するように配置され、前記第1経路調整系によって経路の調整された光を前記フライアイレンズ13に反射させる二角ミラー12と、から構成される。
請求項（抜粋）：
パターンを形成するために感光材料の塗布されたパネルに光を照射する光学系を備えた露光装置において、前記光学系は地面と垂直に配置されて光を照射する2個のランプと、前記ランプに各々設置されて照射された光が上側または下側に照射されるように反射させる楕円鏡と、各々のランプおよび楕円鏡から照射された光の経路を調整する第1経路調整系と、入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズと、前記フライアイレンズから発散された光を露光面に垂直に反射させるコリメートミラーと、前記フライアイレンズに直交するように配置され、前記第1経路調整系によって経路の調整された光を前記フライアイレンズに反射させる二角ミラーと、から構成されることを特徴とする二重ランプ露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 571
Fターム (8件)：
2H088FA30 ,  2H088HA04 ,  2H097BA10 ,  2H097EA01 ,  2H097LA12 ,  2H097LA13 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-052112   出願人：株式会社大日本科研
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-073270   出願人：株式会社大日本科研
  • 露光光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-247610   出願人：株式会社目白プレシジョン
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