特許
J-GLOBAL ID:200903017095215438
レーザダイオード及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-187765
公開番号(公開出願番号):特開平11-074609
出願日: 1998年07月02日
公開日(公表日): 1999年03月16日
要約:
【要約】【課題】 光特性及び電流特性を向上させるレーザダイオード及びその製造方法を提供する。【解決手段】 レーザダイオードは、第1導電型の基板上に順次に形成される第1導電型のクラッド層、活性層、第2導電型の第1クラッド層、エッチストップ層と、前記エッチストップ層上の所定領域に一定の幅に側面が垂直な形態に形成される第2導電型の第2クラッド層と、第2導電型の第2クラッド層上に第2導電型の第2クラッド層と同じ幅に形成される第2導電型のInGaP層と、第2導電型の第2クラッド層の両側面に形成される電流遮断層と、前記電流遮断層及び第2導電型のInGaP層上に形成される電流導通層と、前記基板の下部及び電流導通層の上部に形成される電極とを備える。
請求項(抜粋):
第1導電型の基板上に形成される第1導電型のクラッド層と、前記第1導電型のクラッド層上に形成される活性層と、前記活性層上に形成される第2導電型の第1クラッド層と、前記第2導電型の第1クラッド層上に形成されるエッチストップ層と、前記エッチストップ層上の所定領域に一定の幅に側面が垂直な形態に形成される第2導電型の第2クラッド層と、前記第2導電型の第2クラッド層上に第2導電型の第2クラッド層と同じ幅に形成される第2導電型のInGaP層と、前記第2導電型の第2クラッド層の両側面に形成される電流遮断層と、前記電流遮断層及び第2導電型のInGaP層上に形成される電流導通層と、前記基板の下部及び電流導通層の上部に形成される電極とを備えることを特徴とするレーザダイオード。
引用特許: