特許
J-GLOBAL ID:200903017146436914
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法及びそれに使用する転写シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
土井 育郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-077897
公開番号(公開出願番号):特開平8-273536
出願日: 1995年04月03日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】 サンドブラスト法によりプラズマディスプレイパネルの障壁を形成するに際し、ガラス基板上における有効表示エリア内のみに均一な膜厚の障壁形成層を形成できるようにする。【構成】 ベースフィルム10上に障壁形成層11を備えた転写シートSからその障壁形成層11をガラス基板13を転写した後、レジストパターンを形成してサンドブラスト加工により障壁形成材料の不要部分を除去する。ベースフィルム10の不要部分をスリットして使用することで、周縁部の起伏がなく、エッジまで均一な膜厚の障壁形成層11を形成できる。塗布した障壁形成材料の下面側が反転して障壁の上面になるので、表面凹凸が極めて少ない障壁を形成できる。
請求項(抜粋):
ベースフィルム上に障壁形成層を備えた転写シートからその障壁形成層をガラス基板上に転写する第1工程、転写された障壁形成層の上面にレジストパターンを形成する第2工程、該レジストパターンの開口部の障壁形成材料をサンドブラスト加工により除去する第3工程、障壁形成材料上の残ったレジストを剥離する第4工程、焼成により障壁形成材料を焼結する第5工程、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 9/02 F
, H01J 9/24 B
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開平1-241731
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特開平4-249828
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特開平2-301934
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