特許
J-GLOBAL ID：200903017148748310
フィーチャのピッチに基づくパターン分解を行うための方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-237775
公開番号（公開出願番号）：特開2008-103696
出願日： 2007年09月13日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】パターンを分解するための方法を提供する。【解決手段】(a)内径内に正の値および外径内に負の値を有する関数を表すカーネルを規定するステップ、(b)複数のピクセルを使用してフィーチャを規定するステップ、(c)複数のピクセルの第1ピクセルにわたってカーネルを配置するステップ、(d)複数のピクセルの各々の位置におけるカーネルの値を決定し、複数のピクセルの各々に対する値を記憶するステップ、(e)複数のピクセルの特定のピクセルに関連する以前に記憶された値をステップ(d)において決定された特定のピクセルのピクセル値に加えるステップ、(f)複数のピクセルの他のピクセルにわたってカーネルを配置し、ステップ(d)から(f)を複数のピクセルの各々が処理されるまで繰り返すステップ、(g)特定のピクセルのピクセル値に基づき第1パターンまたは第2パターンにおけるピクセルの設置を決定するステップ、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハ上に印刷されるフィーチャを含むターゲットパターンを複数パターンに分解するための方法であって、
(a)内径内に正の値および外径内に負の値を有する関数を表すカーネルを規定するステップ、
(b)複数のピクセルを使用して前記フィーチャを規定するステップ、
(c)前記複数のピクセルの第1ピクセルにわたって前記カーネルを配置するステップ、
(d)前記複数のピクセルの各々に対してピクセル値を規定するために、前記複数のピクセルの各々の位置における前記カーネルの値を決定し、前記複数のピクセルの各々に対する前記値を記憶するステップ、
(e)前記複数のピクセルの特定のピクセルに関連する以前に記憶された値を、ステップ(d)において決定された前記特定のピクセルの前記ピクセル値に加えるステップ、
(f)前記複数のピクセルの他のピクセルにわたって前記カーネルを配置し、ステップ(d)から(f)を前記複数のピクセルの各々が処理されるまで繰り返すステップ、および
(g)前記特定のピクセルのピクセル値に基づき第1パターンまたは第2パターンにおける前記ピクセルの設置を決定するステップ、
を含む方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G03F 1/08
H01L21/30 514A
, G03F7/20 521
, G03F1/08 A
2H095BA02
, 2H095BB02
, 5F046AA13
, 5F046AA25
, 5F046BA03
, 5F046CB17
