精密研削装置および精密研削方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：高橋勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-102401
公開番号（公開出願番号）：特開2005-288550
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】半田バンプ等の被研削物の先端部を同一の高さに一様に研削(研磨)し当該研削仕上げ面の品質を良好に設定し得る精密研削装置および精密研削方法を提供すること。【解決手段】研削用テープ11と、この研削用テープ11の一部をその先端面に着脱自在に当接させた平面往復移動ヘッド12と、これらを保持すると共に研削用ステージ2A上の被研削物Wに向けて移送するヘッド部移送機構6とを備え、このヘッド部移送機構6に平面往復移動ヘッド12を垂下保持するヘッド保持機構13と、研削用テープ11と平面往復移動ヘッド12とをその先端面に平行に往復移動させるヘッド往復駆動機構16とを併設したこと。又研削方法としては、複数のセンサ41A〜41C,46A〜46Cと傾斜角微調整機構31を装備して、被研削物Wを載置した研削用ステージ2Aの傾斜を研削加工前に正常化する手順を開示した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

研削用ステージ上に保持された被研削物を平面研削加工する研削用テープと、この研削用テープの一部をその先端面に着脱自在に当接させた平面研削用の平面往復移動ヘッドと、この平面往復移動ヘッドおよび前記研削用テープを保持すると共にこれらを前記被研削物に向けて移送するヘッド部移送機構とを備え、前記ヘッド部移送機構に、当該ヘッド部移送機構上で前記平面往復移動ヘッドを垂下保持するヘッド保持機構と、前記研削用テープと一体的に当該平面往復移動ヘッドをその先端面に平行に往復移動させるヘッド往復駆動機構とを併設したことを特徴とする精密研削装置。

IPC (2件)：

B24B21/00 , B24B49/10

FI (2件)：

B24B21/00 A , B24B49/10

Fターム (12件)：

3C034AA13 , 3C034BB92 , 3C034CA11 , 3C034CB08 , 3C034DD10 , 3C058AA05 , 3C058AA16 , 3C058AB03 , 3C058AB06 , 3C058AC02 , 3C058CB01 , 3C058CB03

引用特許：

出願人引用 (7件)

バンプ付電子部品の実装方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-205861 出願人：松下電器産業株式会社
特開平1-316155
特開平3-043148

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審査官引用 (10件)

特開平3-043148
板状部材研磨方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-065113 出願人：株式会社サンシン
特開昭62-124842

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