特許
J-GLOBAL ID：200903017206093019
塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006910
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197423
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 基板の位置補正用の駆動機構を簡素にするとともに、高い位置精度が得られる塗布装置を提供する。【解決手段】 ガラス基板11を載置ステージ12上に仮位置決めする。このガラス基板11上のパターン認識用マークを認識手段24によって認識し、ゲージング機構38a ,38b ,38c ,38d ,38e を動作させ、ガラス基板11の周囲各辺11a ,11b,11c ,11d との当接量を変化させる。ガラス基板11を平面方向に回転させてθ軸方向の位置調整し、載置ステージ12上に保持固定する。位置データおよび予め設定している塗布データに基づいて移動機構16,20を動作させ、ガラス基板11を載置した載置ステージ12をガラス基板面に沿う互いに直交する2方向に移動させる。複数個の塗布ヘッド32を有する塗布機構29によってガラス基板11への導体ペーストを塗布する。
請求項（抜粋）：
パターン認識用マークを有する基板を所定位置に仮位置決めするとともに保持固定する載置ステージと、この載置ステージ上に仮位置決めされた基板上のパターン認識用マークの位置を認識する認識手段と、前記認識手段によって得られた位置データに基づき基板を平面に沿って回転させ回転方向の位置決めをするゲージング機構と、このゲージング機構および前記載置ステージを取り付けたスライダと、このスライダを予め設定された塗布データおよび前記位置データに基づいて基板面に沿う互いに直交する2方向にそれぞれ移動させる移動機構と、塗布ヘッドを有し前記載置ステージ上の所定位置に位置決め保持固定された基板に対し塗布する塗布機構とを具備したことを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
G02F 1/1343
, B05C 11/00
, G02F 1/13 101
, B05C 5/00
G02F 1/1343
, B05C 11/00
, G02F 1/13 101
, B05C 5/00 Z
