特許
J-GLOBAL ID：200903017239799677

露光装置及び露光システム並びにデバイス製造方法

発明者：
堀川 浩人

堀川 浩人 について

, 
高橋 正人

高橋 正人 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-305451
公開番号（公開出願番号）：特開2007-115879
出願日： 2005年10月20日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】 電気性用力を用いる複数のモジュールを設置する際にも作業を簡単に行う。【解決手段】 電気性用力を用いて所定の処理を施すモジュールIM、MM、PM、WM、SMを有する。三つ以上設けられたモジュールのそれぞれの間で相互に電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
電気性用力を用いて所定の処理を施すモジュールを有する露光装置であって、 三つ以上設けられた前記モジュールのそれぞれの間で相互に前記電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D
Fターム (6件)：
5F046AA28 ,  5F046CB01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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